等离子体是一种物质状态，目前实验室产生等离子体无非就是依靠气体放电因此，工业应用，日常家用等离子体都是电离气体产生的，比如辉光放电，电弧放电，射频放电实验室等离子体可以在低气压下和大气压下产生，用途也不一样，可作为光源，离子源，电子束源，以及半导体刻蚀，镀膜，沉积，清洗等用途的等离子。LEBT离子源及低能输运低...